天博平台app下载中心质料DUV底部抗反射层质料，，，，，，，搭配合适厚度可以将Al、Cu、W、GaAs等衬底反射率降低到1%以下；；；；；；；具有优异的填隙能力以拓展工艺窗口，，，，，，，划分适用于种种KrF光刻制程 。。。 。。。 。。
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